| 发明名称 | 基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块 | ||
| 摘要 | 本发明涉及基板处理系统，尤其涉及在基板表面进行处理的基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块。所述基板处理系统包括：基板交换模块，用于对托盘上完成处理的基板进行卸载，并对将要进行基板处理的基板进行装载；装载互锁模块，用于从所述基板交换模块接收装载有将进行基板处理的基板的托盘；施工模块，用于从所述装载互锁模块接收装载有基板的托盘，并对装载于托盘上的基板进行基板处理；卸载互锁模块，用于从所述施工模块接收装载有完成处理了的基板的托盘，并将所述托盘向上侧方向及下侧方向中至少一个方向进行移动以使其向所述基板交换模块传送；托盘反馈模块，从所述卸载互锁模块接收装载有基板的托盘，并向所述基板交换模块进行传送。 | ||
| 申请公布号 | CN102117732A | 申请公布日期 | 2011.07.06 |
| 申请号 | CN201010560301.1 | 申请日期 | 2010.11.18 |
| 申请人 | IPS株式会社 | 发明人 | 朴海允 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 瞿卫军 |
| 主权项 | 一种基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统包括：基板交换模块，用于对托盘上完成处理的一个以上的基板进行卸载，并对将要进行基板处理的一个以上的基板进行装载；装载互锁模块，用于从所述基板交换模块接收装载有将要进行基板处理的一个以上的基板的托盘；施工模块，用于从所述装载互锁模块接收装载有基板的托盘，并对装载于托盘上的基板进行基板处理；卸载互锁模块，用于从所述施工模块接收装载有完成处理了的基板的托盘，并将所述托盘向上侧方向及下侧方向中至少一个方向进行移动以使其向所述基板交换模块传送；托盘反馈模块，从所述卸载互锁模块接收装载有基板的托盘，并向所述基板交换模块进行传送。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||