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发明名称
摘要
申请公布号	JP4718668(B2)	申请公布日期	2011.07.06
申请号	JP20000190766	申请日期	2000.06.26
申请人		发明人
分类号	C30B29/06;C30B15/00;C30B15/04;C30B23/02;C30B25/18;H01L21/208	主分类号	C30B29/06
代理机构		代理人
主权项
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