发明名称 一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒
摘要 本实用新型公开了一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒,包括导流筒本体,导流筒本体为上大下小的锥形筒状结构,导流筒本体的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽。本实用新型直拉式硅单晶生长炉用导流筒结构简单,设计合理,使用安全,能有效提高硅单晶的生长效率,可广泛适用于直拉式硅单晶生长设备中。
申请公布号 CN201890951U 申请公布日期 2011.07.06
申请号 CN201020632875.0 申请日期 2010.11.30
申请人 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 发明人 李留臣
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 西安弘理专利事务所 61214 代理人 罗笛
主权项 一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒,其特征在于,包括导流筒本体(1),所述导流筒本体(1)为上大下小的锥形筒状结构,所述导流筒本体(1)的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽(2)。
地址 213200 江苏省常州市金坛市华城路318号