发明名称 | 一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒,包括导流筒本体,导流筒本体为上大下小的锥形筒状结构,导流筒本体的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽。本实用新型直拉式硅单晶生长炉用导流筒结构简单,设计合理,使用安全,能有效提高硅单晶的生长效率,可广泛适用于直拉式硅单晶生长设备中。 | ||
申请公布号 | CN201890951U | 申请公布日期 | 2011.07.06 |
申请号 | CN201020632875.0 | 申请日期 | 2010.11.30 |
申请人 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 发明人 | 李留臣 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人 | 罗笛 |
主权项 | 一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒,其特征在于,包括导流筒本体(1),所述导流筒本体(1)为上大下小的锥形筒状结构,所述导流筒本体(1)的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽(2)。 | ||
地址 | 213200 江苏省常州市金坛市华城路318号 |