一体化真空充气主机的抽真空管路

摘要

本实用新型公开了一种一体化真空充气主机的抽真空管路，该抽真空管路包括均设于机箱内的机械泵、低真空管路和高真空管路，机械泵设于机箱底部内侧，低真空管路和高真空管路相通，并分别与机械泵、作业台相连通。通过在机箱内的合理排布，使得能够有效利用机箱内部空间，更有利于将抽真空和充气两套机构集成在一起，实现真空充气的一体化。

主权项

一种一体化真空充气主机的抽真空管路，设于主机机箱内，并与主机作业台相连通，其特征在于：包括机械泵、低真空管路和高真空管路，其中，所述的机械泵设于底部内侧；所述的低真空管路包括第一气动阀、第一三通管、第二气动阀和第二三通管，第一气动阀设于机械泵上方，并与机械泵连通，第一三通管水平连通于第一气动阀一端，第二气动阀设于第一三通管上方，并通过第一金属软管相连通，第二三通管水平连通于第二气动阀一端，第二三通管上端与主机作业台连通；所述的高真空管路包括第三气动阀、高真空油扩散泵和第四气动阀，第三气动阀水平连通于第一三通管另一端，高真空油扩散泵设于外侧，其一端通过第二金属软管与第三气动阀另一端连通，第四气动阀水平设于高真空油扩散泵与第二三通管之间，并分别与高真空油扩散泵和第二三通管相连通。