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发明名称
OPTICAL EMISSION INTERFEROMETRY FOR PECVD USING A GAS INJECTION HOLE
摘要
申请公布号
EP1917674(B1)
申请公布日期
2011.07.06
申请号
EP20060801496
申请日期
2006.08.15
申请人
UNAXIS USA INC.
发明人
JOHNSON, DAVID
分类号
H01J37/32;C23C16/505;C23C16/52;G01B11/06
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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