外观检查装置

摘要

本发明涉及一种外观检查装置，其能够有效检查晶片周缘部。该外观检查装置通过使检查区域指定画面(81)显示在监视器上，由此可以对晶片周缘部的任意区域进行检查。检查区域指定画面(81)具有显示观察范围的显示部(81)和设定观察区域的输入部(82)。在输入部(82)中，可以选择步进、连续、指定位置中的任一种观察方式，按照此处设定的条件登记处方，并实施检查。

主权项

一种外观检查装置(1)，其按照预先设定的由摄像条件、摄像方式和摄像位置所生成的检查方法进行晶片周缘部的外观检查，该外观检查装置(1)具有：将所述晶片保持为可自由旋转的晶片保持部(4)；取得所述晶片的周缘部的放大像的周缘摄像部(5)；检查区域指定单元，其可在设定由摄像条件、摄像方式和摄像位置所生成的所述检查方法时设定晶片周缘部的检查位置的信息；以及控制部(51)，其生成并登记用于对由所述检查区域指定单元所设定的检查位置进行检查的由摄像条件、摄像方式和摄像位置所生成的所述检查方法，按照所登记的由摄像条件、摄像方式和摄像位置所生成的所述检查方法控制所述晶片保持部和所述周缘摄像部，来进行检查。