发明名称 Capacitative pressure sensor
摘要 <p>Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanisch hergestellter kapazitiver Drucksensor beschrieben, der eine erste Elektrode in einer ersten beweglichen Membran und eine zweite Elektrode in einem Aufbau auf einer zweiten beweglichen Membran aufweist. Diese erste bzw. zweite Membran lässt sich durch die Druckbeaufschlagung mittels eines Mediums derart auslenken, dass die beiden Elektroden relativ zueinander verschoben werden. In Abhängigkeit von dieser Verschiebung wird mittels eines geeigneten Erfassungsmittels eine Messgröße erfasst, die ein Maß für diese Druckbeaufschlagung repräsentiert. Der Kern der Erfindung besteht dabei darin, dass die erste und zweite Membran im Wesentlichen nebeneinander angeordnet sind. </p>
申请公布号 EP2207020(A3) 申请公布日期 2011.07.06
申请号 EP20090177688 申请日期 2009.12.02
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 WOLFF, JANPETER;NIEKRAWIETZ, REMIGIUS
分类号 G01L13/02;G01L9/12 主分类号 G01L13/02
代理机构 代理人
主权项
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