摘要 |
<p>Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanisch hergestellter kapazitiver Drucksensor beschrieben, der eine erste Elektrode in einer ersten beweglichen Membran und eine zweite Elektrode in einem Aufbau auf einer zweiten beweglichen Membran aufweist. Diese erste bzw. zweite Membran lässt sich durch die Druckbeaufschlagung mittels eines Mediums derart auslenken, dass die beiden Elektroden relativ zueinander verschoben werden. In Abhängigkeit von dieser Verschiebung wird mittels eines geeigneten Erfassungsmittels eine Messgröße erfasst, die ein Maß für diese Druckbeaufschlagung repräsentiert. Der Kern der Erfindung besteht dabei darin, dass die erste und zweite Membran im Wesentlichen nebeneinander angeordnet sind.
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