| 发明名称 |
NICKEL ALLOY SPUTTERING TARGET AND NICKEL SILICIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2290122(A4) |
申请公布日期 |
2011.07.06 |
| 申请号 |
EP20100741143 |
申请日期 |
2010.01.22 |
| 申请人 |
JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION |
发明人 |
YAMAKOSHI YASUHIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;C22B9/22;C22B23/06;C22C19/03;C22F1/10;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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