一种IC元件检测系统

摘要

本发明涉及一种IC元件检测系统，其中，检测对象(10)被定位为与基准(1)的开孔(2)是重叠关系，并被横向的漫射光源(3)所照射，从而通过开孔(2)在几个投影方向对参考边(12)的参考轮廓和对象(10)的轮廓图像进行投影。提供了光学侧面棱镜(5)和棱镜(6)以接收来自两个不同的入射角的投影光，于是定义了两个不同的投影路径(91，92)，因此通过分析来自一个对象点的这两条投影路径的光，就可以获取三维图像。侧面棱镜(5)和棱镜(6)被设计和放置以使第一和第二投影的投影路径(91，92)在对象(10)的带引线的轮廓和系统的成像面(110)之间有相同的光程。

主权项

一种IC元件检测系统，用于检测具有带引线的集成电路元件形式的对象，所述系统具有光轴并包括：基准(1)，该基准中有由参考边(12)所确定的开孔(2)，所述基准提供一个至少基本上垂直于系统的光轴(A)的参考面，其中，待检测的对象(10)被定位在预定位置，与基准(1)的开孔(2)是重叠关系；横向漫射光源(3)，用于横向地照射漫射光到物体上和通过开孔(2)，从而通过开孔(2)在几个投影方向，对被定位的对象(10)包括引线的轮廓和参考边(12)的轮廓图像进行投影；光学侧面棱镜(5)，用于接收来自第一投影方向的轮廓图像的第一投影光，所述侧面棱镜有：入射面(51)，出射面(62)和内反射面(52)，该内反射面协同入射面和出射面工作用于内反射第一投影光，使其通过侧面棱镜的出射面，在出射方向指向成像面；光学中央棱镜(6)，被放置以接收来自第二投影方向的轮廓图像的第二投影光，所述中央棱镜(6)在预定位置具有：入射折射面(63)和与入射折射面协同工作的出射折射面(64)，以使第二投影光被入射折射面和被出射折射面折射到成像面(110)；其中，侧面棱镜(5)和中央棱镜(6)被设计和放置，以使第一和第二投影的投影路径在带引线的对象(10)的轮廓和成像面(110)之间有相同的光程。