| 发明名称 |
Surface scan measuring device and method of forming compensation table for scanning probe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1536205(A3) |
申请公布日期 |
2011.07.06 |
| 申请号 |
EP20040027923 |
申请日期 |
2004.11.24 |
| 申请人 |
MITUTOYO CORPORATION |
发明人 |
NODA, TAKASHI;OGURA, KATSUYUKI |
| 分类号 |
G01B21/04;G01B5/012;G01B5/20 |
主分类号 |
G01B21/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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