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发明名称 IMPROVED MASS FLOWMETER AND LAMINAR FLOW ELEMENTS FOR USE THEREIN
摘要
申请公布号 EP0980507(B1) 申请公布日期 2011.07.06
申请号 EP19980920294 申请日期 1998.05.06
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 LUCAS, PAUL, D.;LUFT, FREDERICK, J.;HUANG, TING
分类号 G01F1/00;G01F1/68;G01F1/48;G01F1/684;G01F5/00;G01F15/00 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
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