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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR GENERATING UNIFORM HIGH- FREQUENCY PLASMA OVER LARGE SURFACE AREA
摘要
申请公布号
EP1564794(B1)
申请公布日期
2011.07.06
申请号
EP20020777987
申请日期
2002.10.29
申请人
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人
KAWAMURA, KEISUKE;TAKANO, AKEMI;MASHIMA, HIROSHI;TAKATUKA, HIROMU;YAMAUTI, YASUHIRO;TAKEUCHI, YOSHIAKI;SASAKAWA, EISHIRO
分类号
H01L21/205;C23C16/509;H01J37/32
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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