细长的气体分配系统

摘要

描述一种用于等离子沉积或等离子清洁设备中的细长的气体分配系统。该系统以堆叠细长板条的形式设备。所述板条中铣有凹槽，这些凹槽在板条彼此上下堆叠后便形成通道。这种设置是特别灵活的设计，可供精细分叉的气体分配树状结构之用。还可以在气体分配系统内部或其上装有气流控制装置，比如阀或叶片。通过根据等离子体、沉积层或清洁的基片反馈参数的输入对气流控制装置的驱动，实现气体分配系统的快速反应。此外，某些板条可用于结合冷却回路，以便冷却细长的气体分配系统。

主权项

一种用于安装在等离子沉积或等离子清洁设备中的细长的气体分配系统，其包括：至少一个入口，以及至少一个系列的出口，所述系列出口中的每一个与所述入口之一相对应；所述细长的气体分配系统包括：堆叠的板条，所述板条具有长度尺寸、宽度尺寸和厚度尺寸，所述长度尺寸大于所述厚度尺寸和所述宽度尺寸，所述板条具有由所述宽度尺寸和长度尺寸形成的第一侧和第二侧，所述第一侧和第二侧中的至少一个具有凹槽，使得当板条彼此上下堆叠时，形成通道，所述通道将所述至少一个入口连接到所述对应的系列出口上，所述板条具有由所述长度尺寸和所述厚度尺寸形成的一侧和另一侧，其特征在于，所述系列出口被布置在所述一侧或所述另一侧的长度尺寸上。