低蒸汽压力的高纯度气体输送方法及输送系统

摘要

本发明提供一种用于输送汽相流体给期望的最终用途的系统、设备和方法，其中监测所述系统的状况以确定何时水含量或供给容器的表面温度超过给定值，或何时低蒸汽压力流体压力降至给定值之下，以便通过中止来自第一供给容器的蒸汽流和开启来自第二供给容器的蒸汽流而使所述第一供给容器退出使用。

主权项

一种用以从容器输送在压力下的汽相流体的方法，所述方法包括下列步骤：提供至少第一和第二容器，所述第一和第二容器内含有流体，每个容器具有容器壁；提供与所述第一容器相连的具有打开/关闭位置的第一阀门、以及与所述第二容器相连的具有开/关位置的第二阀门；提供与所述第一和第二容器的每一个相连的加热器；加热所述第一和第二容器以在所述第一和第二容器内达到预定压力；提供与所述加热器相连的控制器；从所述第一容器取出一定数量的汽相流体并将其引导到最终用途；通过与相应的容器关联的传感器来监测所述第一和第二容器内的至少一个状况，所述状况选自由汽相流体压力、容器壁温、汽相流体的低蒸汽压力的污染物含量和它们的组合组成的组，以通过确定是所述壁温还是所述汽相流体的低蒸汽压力的污染物含量超过给定值、或者所述汽相流体压力降到给定值之下来从所述状况确定所述第一和第二容器内的关键液位，所述关键液位是在所述容器内的最小允许液位；提供与所述传感器相连的控制器；当达到所述第一容器的关键液位时，将所述第一阀门激活到关闭位置，所述第一阀门减小从所述第一容器到所述最终用途的汽相流体的流量以使所述第一容器退出使用；以及将所述第二阀门激活到打开位置，以便开启从所述第二容器到所述最终用途的汽相流体的流量以使所述第二容器投入使用。