发明名称 气流的净化
摘要 将至少一种气态杂质例如硅烷通过从进料气流例如包含氮气和氢气的气流中吸收来除去,该气态杂质的挥发性低于该进料气流。该吸收是通过处于第一低温和第一压力的低温冷却吸收剂来进行的。该吸收剂典型地是丙烷。该吸收可以在液-气接触柱(130)中进行。含有杂质的吸收剂可以在再生容器150中再生,并且返回到所述的柱(130)。
申请公布号 CN102119050A 申请公布日期 2011.07.06
申请号 CN200980131225.8 申请日期 2009.06.24
申请人 爱德华兹有限公司 发明人 A. J.西利;R. B.格兰特
分类号 B01D53/14(2006.01)I;F25J3/02(2006.01)I;C01B33/04(2006.01)I 主分类号 B01D53/14(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 吕彩霞;艾尼瓦尔
主权项 一种从进料气流中除去至少一种气态杂质的方法,所述气态杂质的挥发性低于该进料气流,该方法包括将所述气态杂质吸收到处于第一低温和第一压力的低温冷却的液体吸收剂中,并由此产生净化的进料气流。
地址 英国西萨塞克斯郡