发明名称 一种降低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的装置
摘要 本实用新型提供一种降低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的装置,包括氯化氢吸收塔、气/气换热器、吸附柱及连接管道,还包括除雾器,在氯化氢吸收塔与气/气换热器之间通过管道连接除雾器,除雾器滤除氯化氢回收塔顶部回收氢中夹带的氯硅烷,回收氢经过气/气换热器(6)后进入吸附柱(8),吸附柱(8)吸附回收氢中残留的氯化氢,使回收氢品质达到多晶硅生产的需要。
申请公布号 CN201889148U 申请公布日期 2011.07.06
申请号 CN201120051452.4 申请日期 2011.03.01
申请人 特变电工新疆硅业有限公司 发明人 银波;郭增昌;杨连勇;李向丹;侯雨
分类号 B01D53/18(2006.01)I;B01D53/02(2006.01)I;C01B3/56(2006.01)I 主分类号 B01D53/18(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 罗建民;邓伯英
主权项 一种降低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的装置,包括氯化氢吸收塔(2)、气/气换热器(6)、吸附柱(8)及连接管道,其特征在于还包括除雾器(4),在氯化氢吸收塔(2)与气/气换热器(6)之间通过管道连接除雾器(4)。
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