真空泵

摘要

一种真空泵，包括外壳、由轴承装置支撑成相对于所述外壳绕轴线旋转的驱动轴、以及泵送机构，该泵送机构包括安装在所述外壳上的定子部件以及安装在所述驱动轴上轴向接近所述定子部件的盘状转子部件。所述轴承装置包括被弹性支撑件在径向和轴向方向支撑的轴承，该弹性支撑件包括被多个挠性构件连接的内环部分和外环部分，这样在所述轴承的内圈和所述弹性支撑件的外环部分之间存在固定关系，从而确定所述泵送机构的所述转子部件和所述定子部件之间的轴向间隙。

主权项

一种真空泵，该真空泵包括外壳、由轴承装置支撑成相对于所述外壳旋转的驱动轴、以及泵送机构，该泵送机构包括安装在所述外壳上的定子部件以及安装在所述驱动轴上轴向接近所述定子部件的转子部件，所述轴承装置包括被金属弹性支撑件在径向和轴向方向支撑的轴承，该金属弹性支撑件包括被多个挠性构件连接的内环部分和外环部分，所述内环部分具有朝向其上端面设置的径向向内延伸的轴向支撑部分，从而接合轴承的外圈的上表面以轴向地支撑轴承，这样在所述轴承的内圈和所述弹性支撑件的外环部分之间存在固定关系，从而确定所述泵送机构的所述转子部件和所述定子部件之间的轴向间隙。