发明名称 ADJUSTABLE DEFLECTION OPTICS FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 EP2340549(A1) 申请公布日期 2011.07.06
申请号 EP20090745145 申请日期 2009.09.17
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 GRAF, MIKE;EISNER, EDWARD;VANDERBERG, BO
分类号 H01J37/147;H01J37/317 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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