| 发明名称 | 光刻胶组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种光刻胶组合物，其包含：包含式(I)表示的结构单元的树脂和式(D’)表示的化合物：<img file="dsa00000415181500011.GIF" wi="832" he="640" />其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>独立地表示氟原子等，U表示C1-C20二价烃基等，X<sup>1</sup>表示-O-CO-等，A<sup>+</sup>表示有机反荷离子，<img file="dsa00000415181500012.GIF" wi="1069" he="275" />其中R<sup>51</sup>、R<sup>52</sup>、R<sup>53</sup>和R<sup>54</sup>独立地表示C1-C20烷基等，A<sup>11</sup>表示可具有一个或更多个取代基并可含有一个或更多个杂原子的C1-C36饱和环状烃基。 | ||
| 申请公布号 | CN102117013A | 申请公布日期 | 2011.07.06 |
| 申请号 | CN201010623818.0 | 申请日期 | 2010.12.31 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 山下裕子;安藤信雄 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;王春伟 |
| 主权项 | 1.一种光刻胶组合物，包含：包含式(I)表示的结构单元的树脂和式(D’)表示的化合物：<img file="FSA00000415181600011.GIF" wi="831" he="670" />其中Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基；U表示C1-C20二价烃基，其中一个或更多个-CH<sub>2</sub>-可被-O-、-NH-、-S-、-NR<sup>c</sup>-、-CO-或-CO-O-替代，R<sup>c</sup>表示C1-C6烷基；X<sup>1</sup>表示-O-CO-、-CO-O-、-CO-O-CH<sub>2</sub>-、-CH<sub>2</sub>-O-CO-、-O-CH<sub>2</sub>-、-CH<sub>2</sub>-O-、-NR<sup>d</sup>-CO-或-CO-NR<sup>d</sup>-，R<sup>d</sup>表示氢原子或C1-C6烷基；A<sup>+</sup>表示有机反荷离子，<img file="FSA00000415181600012.GIF" wi="1069" he="273" />其中R<sup>51</sup>、R<sup>52</sup>、R<sup>53</sup>和R<sup>54</sup>独立地表示可具有一个或更多个取代基的C1-C20烷基、可具有一个或更多个取代基的C3-C30饱和环状烃基或可具有一个或更多个取代基的C2-C20烯基，A<sup>11</sup>表示可具有一个或更多个取代基并可含有一个或更多个杂原子的C1-C36饱和环状烃基。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||