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发明名称
FUNCTIONAL SOLUTION SUPPLY SYSTEM
摘要
申请公布号
EP2280409(A4)
申请公布日期
2011.07.06
申请号
EP20090729203
申请日期
2009.03.11
申请人
KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人
UCHIDA, MINORU;NAGAI, TATSUO;YAMAKAWA, HARUYOSHI
分类号
H01L21/304;C25B1/30;H01L21/027
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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