工件表面缺陷深度检测装置

摘要

工件表面缺陷深度检测装置是一种较为简单实用且精度较高的表面缺陷检测装置，由一台工业显微镜及一个千分表组合而成，在工业显微镜的物镜部设置一联动检测板，联动检测板随物镜而动，千分表表座与工业显微镜本体通过连接杆相连，表头紧压检测板。检测工件时，调整显微镜聚焦手环，使显微镜物镜在被测工件表面聚焦，这时将千分表调零；下一步移动显微镜物镜到被测工件缺陷底部，调整显微镜聚焦手环，使显微镜物镜在被测工件缺陷底部聚焦，这时联动检测板也随之而动，带动千分表表头微动，记录千分表读数，多测几个底点，读数最大的即为工件表面缺陷深度。

主权项

一种工件表面缺陷深度检测装置，其特征是：在工业显微镜的物镜部设置一联动检测板，联动检测板随物镜而动，千分表表座与工业显微镜本体通过连接杆相连，表头紧压检测板，物镜在工件表面与缺陷底部的两个聚焦点相对应的千分表读数之差即为工件表面缺陷深度 。