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发明名称
摘要
申请公布号
JP4719195(B2)
申请公布日期
2011.07.06
申请号
JP20070216826
申请日期
2007.08.23
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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