APPARATUS FOR POLISHING A SEMICONDUCTOR WAFER,申请号EP20080767884-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR POLISHING A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	EP2089186(B1)	申请公布日期	2011.07.06
申请号	EP20080767884	申请日期	2008.05.27
申请人	CORNING INCORPORATED	发明人	EISENSTOCK, GREGORY;THOMAS, JOHN C
分类号	B24B37/04	主分类号	B24B37/04
代理机构		代理人
主权项
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