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发明名称 METHOD FOR GROWING AlxGa1-xN SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 EP2258890(A4) 申请公布日期 2011.07.06
申请号 EP20080871941 申请日期 2008.12.24
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 MIYANAGA, MICHIMASA;MIZUHARA, NAHO;TANIZAKI, KEISUKE;KAWASE, TOMOHIRO;NAKAHATA, HIDEAKI
分类号 C30B29/38;C30B23/06;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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