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发明名称
摘要
申请公布号
KR101046058(B1)
申请公布日期
2011.07.04
申请号
KR20040093337
申请日期
2004.11.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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