MULTIPLE GAS FEED APPARATUS AND METHOD,申请号KR20117011784-传众专利搜索

发明名称	MULTIPLE GAS FEED APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号	KR20110074926(A)	申请公布日期	2011.07.04
申请号	KR20117011784	申请日期	2009.10.20
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	TSO ALAN;TSUEI LUN;CHO TOM K.;SHIEH BRIAN SY YUAN
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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