| 主权项 |
一种涂布装置，其系于基板表面涂布含有被涂布物质与特定有机溶剂之涂布液者，其特征在于具有：向基板表面吐出上述涂布液之喷嘴；连接于上述喷嘴之配管部；向上述配管部供给上述涂布液之涂布液供给机构；向上述配管部供给上述有机溶剂之溶剂供给机构；及控制上述涂布液供给机构与上述溶剂供给机构之控制机构；上述控制机构实行以下动作：于停止自上述涂布液供给机构供给上述涂布液之状态下，进行自上述溶剂供给机构供给上述有机溶剂之溶剂供给动作；上述溶剂供给动作后，使自上述溶剂供给机构之上述有机溶剂之供给量逐渐降低，同时逐渐增加自上述涂布液供给机构之上述涂布液之供给量之置换动作；及上述置换动作后，进行自上述涂布液供给机构供给上述涂布液之涂布液供给动作。如请求项1之涂布装置，其中上述控制机构于上述置换动作中，在自上述溶剂供给机构之上述有机溶剂之供给量与自上述涂布液供给机构之上述涂布液之供给量大致相等的时点，停止自上述有机溶剂供给机构供给上述有机溶剂。如请求项2之涂布装置，其中上述涂布液供给机构具有涂布液用配管与设于上述涂布液用配管上之涂布液用质量流量控制器；上述溶剂供给机构具有溶剂用配管与设于上述溶剂用配管上之溶剂用质量流量控制器；且上述控制机构藉由控制上述涂布液用质量流量控制器及上述溶剂用质量流量控制器实行上述置换动作。如请求项3之涂布装置，其中上述涂布液包含作为上述被涂布物质之有机EL材料。如请求项4之涂布装置，其中上述喷嘴经由具有70 μm以下之直径的吐出孔吐出上述涂布液。一种涂布装置，其系于基板表面涂布含有被涂布物质与特定有机溶剂之涂布液者，其特征在于具有：向基板表面吐出上述涂布液之喷嘴；连接于上述喷嘴之配管部；向上述配管部供给上述涂布液之涂布液供给机构；向上述配管部供给上述有机溶剂之溶剂供给机构；及控制上述涂布液供给机构与上述溶剂供给机构之控制机构；上述控制机构实行以下动作：进行自上述涂布液供给机构供给少量的上述涂布液与自上述溶剂供给机构供给上述有机溶剂之混合液供给动作；上述混合液供给动作后，使自上述溶剂供给机构之上述有机溶剂之供给量逐渐降低，同时逐渐增加自上述涂布液供给机构之上述涂布液之供给量之置换动作；及上述置换动作后，进行自上述涂布液供给机构供给上述涂布液之涂布液供给动作。 |
