| 发明名称 | 电子束尺寸测量装置及电子束尺寸测量方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI344670 | 申请公布日期 | 2011.07.01 |
| 申请号 | TW096132847 | 申请日期 | 2007.09.04 |
| 申请人 | 爱德万测试股份有限公司 | 发明人 | 栗原正行 |
| 分类号 | H01L21/02;H01J3/12 | 主分类号 | H01L21/02 |
| 代理机构 | 代理人 | 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 | |
| 主权项 | 一种电子束尺寸测量装置，包含有：电子束照射机构，系用以将电子束照射至试料表面者；平台，系用以载置前述试料者；光电生成电极，系与前述试料对向配置者；紫外光照射机构，系用以照射紫外光者；及控制机构，系以前述紫外光照射机构照射预定时间之紫外光，使光电子从前述试料及光电生成电极放出，并对前述光电子生成电极施加用以供给能量之电压，使前述试料的表面电位为0[V]者，又，前述能量系相当于前述试料放出之光电子能量与前述光电子生成电极放出之光电子能量的差。 | ||
| 地址 | 日本 | ||