| 主权项 |
一种具有加热器之静电夹持器，包括由包含氧化铝之烧结体所构成之基体、设置在该基体中之上部侧之静电夹持器电极以及埋设于基体中之下部侧之电阻发热体，前述基体系由静电夹持器电极开始至基体上面为止之介电质层和由静电夹持器电极开始至基体下面为止之支持构件所构成，其特征在于：前述支持构件系在接合于前述介电质层之静电夹持器电极附近区域和比起该静电夹持器电极附近区域还更加下方之下方区域，碳含有量呈不同，前述介电质层中之碳含有量系100wt．ppm以下，前述支持构件之前述静电夹持器电极附近区域之碳含有量系0.13wt%以下，并且，前述支持构件之前述下方区域之碳含有量系0.03wt%以上，而且，前述静电夹持器电极附近区域之碳含有量系小于前述下方区域之碳含有量，前述电阻发热体系包含铌或白金。如申请专利范围第1项之具有加热器之静电夹持器，其中，前述静电夹持器电极系包含10wt%以上之氧化铝和碳化钨。一种具有加热器之静电夹持器的制造方法，具有：烧成陶瓷原料而形成基体之介电质层之制程、形成静电夹持器电极之制程以及烧成埋设有电阻发热体之陶瓷原料而形成支持构件之制程，其特征在于：前述形成支持构件之制程系包含：藉由在接近于静电夹持器电极之侧，层积预烧之陶瓷原料，在远离于静电夹持器电极之侧，层积并无预烧之陶瓷原料，进行成形，而调整支持构件之烧成体之碳含有量之制程。 |
