主权项 |
一种场效电晶体,其为具有在一组欧姆电极之间,复数个闸极电极配置成曲柄状的多闸极构造的场效电晶体,其特征在于:上述欧姆电极之间包含具有凹陷部的半导体层,且上述闸极电极形成于上述凹陷部之中;在相对于上述半导体层的既定的结晶方位的垂直方位以及水平方位的任一者的闸极电极的周围,形成有上述半导体层的非活性区域;在上述闸极电极之间半导体层的主表面,上述半导体层的活性区域是由上述闸极电极的输入端直到终端连续而设置,并且,此在连续的活性区域的表面,设有电位固定用电极。如申请专利范围第1项所述之场效电晶体,其中上述非活性区域系形成于上述垂直方位与上述水平方位之中,上述凹陷部的宽度较窄的方位的闸极电极的周围。如申请专利范围第1或2项所述之场效电晶体,其中上述闸极电极包括一闸极指状物以及含有与该闸极指状物不同材料的导线;上述闸极指状物系使用于在上述活性区域的闸极电极;上述导线系使用于在上述非活性区域的闸极电极。如申请专利范围第1或2项所述之场效电晶体,其中上述半导体层为n型GaAs层,且上述既定的结晶方位为 |