摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verbindungsbauteil (1) mit integriertem Ultraschallsensor (5), wobei der Ultraschallsensor einen mindestens zwei Schichten (21, 23) umfassenden Schichtaufbau (20) mit einer Elektrodenschicht (21) und mindestens einer Schicht (23) aus einem Material mit piezoelektrischen Eigenschaften aufweist. Die mindestens eine Elektrodenschicht (21) und die mindestens eine Schicht (23) aus einem Material mit piezoelektrischen Eigenschaften sind an einem frei zugänglichen Ende (25, 27) des Verbindungsbauteiles (1) angeordnet. In der Elektrodenschicht (21) sind Strukturen (40, 46, 50) zur Erzeugung von Elektroden durch ausgelaserte Bereiche (30, 31) ausgebildet.</p> |