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发明名称 Optical reproduction system, in particular catadioptric reduction lens
摘要
申请公布号 KR101045487(B1) 申请公布日期 2011.06.30
申请号 KR20057003409 申请日期 2003.08.21
申请人 发明人
分类号 G02B5/30;G03F7/20;G02B13/14;G02B13/24;G02B17/08;H01L21/027 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
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