| 发明名称 |
Vapor deposition apparatus and process for continuous deposition of a thin film layer on a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2010249142(A1) |
申请公布日期 |
2011.06.30 |
| 申请号 |
AU20100249142 |
申请日期 |
2010.12.02 |
| 申请人 |
PRIMESTAR SOLAR, INC. |
发明人 |
RATHWEG, CHRISTOPHER;REED, MAX WILLIAM;PAVOL, MARK JEFFREY |
| 分类号 |
C23C16/00;C23C14/24;C23C16/04;C23C16/44;C23C16/52;H01L31/18 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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