| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR IDENTIFYING A WAFER |
| 摘要 |
<p>Bei einem Verfahren zur Identifizierung eines Wafers (5) erfolgt ein Erfassen eines Erkennungsmerkmals (EM) des Wafers (5), und ein Zuordnen des Erkennungsmerkmals (EM) zum Wafer (5), wobei das Erkennungsmerkmal (EM) ein optisch erfassbares Muster einer dreidimensionalen Struktur der Oberfläche (13) des Wafers (5) ist, wobei das Erkennungsmerkmal (EM) ein Reflexions- bzw. Streumuster von Licht (L) ist, das an einer im Zuge der Bearbeitung des Wafers (5) erzeugten Textur der Oberfläche (13) des Wafers reflektiert bzw. gestreut wird.</p> |
| 申请公布号 |
WO2011076917(A1) |
申请公布日期 |
2011.06.30 |
| 申请号 |
WO2010EP70638 |
申请日期 |
2010.12.23 |
| 申请人 |
ALICONA IMAGING GMBH;PRANTL, MANFRED;SCHERER, STEFAN |
发明人 |
PRANTL, MANFRED;SCHERER, STEFAN |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L23/544 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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