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发明名称
Methods of forming semiconductor devices having self aligned semiconductor mesas and contact layers and related devices
摘要
申请公布号
KR101045160(B1)
申请公布日期
2011.06.30
申请号
KR20057011312
申请日期
2003.12.18
申请人
发明人
分类号
H01S5/323;C30B1/00;H01L21/00;H01L33/14;H01S5/042;H01S5/22;H01S5/223;H01S5/227
主分类号
H01S5/323
代理机构
代理人
主权项
地址
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