发明名称 Methods of forming semiconductor devices having self aligned semiconductor mesas and contact layers and related devices
摘要
申请公布号 KR101045160(B1) 申请公布日期 2011.06.30
申请号 KR20057011312 申请日期 2003.12.18
申请人 发明人
分类号 H01S5/323;C30B1/00;H01L21/00;H01L33/14;H01S5/042;H01S5/22;H01S5/223;H01S5/227 主分类号 H01S5/323
代理机构 代理人
主权项
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