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发明名称 METHOD FOR INSPECTING PATTERNS
摘要
申请公布号 KR101045016(B1) 申请公布日期 2011.06.30
申请号 KR20090004847 申请日期 2009.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L31/115;G02F1/13;G02F1/136 主分类号 H01L31/115
代理机构 代理人
主权项
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