Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Si/SiC-haltigen Schleifschlämmen

摘要

Um die Wiederverwertung von Silizium und/oder Siliziumkarbid aus siliziumhaltigen Schleifschlämmen zu ermöglichen, werden erfindungsgemäß die Schleifschlämme zunächst einem Verfahren zur Hochdruckextraktion mittels flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid unterworfen, wobei öl- und polyethylenhaltige Bestandteile im Kohlendioxid gelöst werden. Das resultierende Si/Si-haltige, pulverförmige Zwischenprodukt wird unter Vakuum oder Inertgasatmosphäre einem Trennverfahren zum Trennen in eine siliziumkarbidhaltige Fraktion und eine Siliziumfraktion unterworfen. Bei diesen Trennverfahren handelt es sich bevorzugt um eine Trennung in einem Sichter, einem Sieb oder einem Zyklon. Durch das erfindunginer hohen Reinheit zurück gewonnen.