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发明名称 METHOD FOR BILAYER RESIST PLASMA ETCH
摘要
申请公布号 IL180025(A) 申请公布日期 2011.06.30
申请号 IL20060180025 申请日期 2006.12.12
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION;WENDY NGUYEN;CHRIS LEE 发明人 WENDY NGUYEN;CHRIS LEE
分类号 H01L21/3213 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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