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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING BONDED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP2270839(A4) 申请公布日期 2011.06.29
申请号 EP20090730414 申请日期 2009.04.10
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 TOBISAKA, YUJI;KUBOTA, YOSHIHIRO;ITO, ATSUO;TANAKA, KOUICHI;KAWAI, MAKOTO;AKIYAMA, SHOJI;TAMURA, HIROSHI
分类号 H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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