喷淋装置

摘要

本发明公开一种喷淋装置，适用于对显示器中的基板进喷淋处理液，包括机架、直线驱动器、喷淋支架、水平输送装置及若干喷管，所述基板承载于所述水平输送装置上，所述水平输送装置带动所述基板在水平方向传输，所述喷淋支架活动连接于所述机架上并位于所述基板的上方，所述直线驱动器驱动所述喷淋支架在水平方向作直线往复运动，所述喷淋支架的运动方向垂直于所述基板的传输方向，所述喷管呈平行的安装于所述喷淋支架上，所述喷管开设有与处理液连通的处理液进入口，所述喷管朝向所述基板的一侧设有若干呈针孔状的喷嘴。本发明喷淋装置适用于对半导体基板进行清洗，结构简单，操控方便，喷淋均匀。

主权项

一种喷淋装置，适用于对显示器中的基板进喷淋处理液，其特征在于：包括机架、直线驱动器、喷淋支架、水平输送装置及若干喷管，所述基板承载于所述水平输送装置上，所述水平输送装置带动所述基板在水平方向传输，所述喷淋支架活动连接于所述机架上并位于所述基板的上方，所述直线驱动器驱动所述喷淋支架在水平方向作直线往复运动，所述喷淋支架的运动方向垂直于所述基板的传输方向，所述喷管呈平行的安装于所述喷淋支架上，所述喷管开设有与处理液连通的处理液进入口，所述喷管朝向所述基板的一侧设有若干呈针孔状的喷嘴。