| 发明名称 | 一种带低功耗长寿命轴向气体密封的旋转工作台 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种带低功耗长寿命轴向气体密封的旋转工作台，其特征在于：其包括回转轴（7）、真空吸盘（2）、锥形气体轴承（9）、设有进气口（8）的壳体（4）、下端盖（6）以及轴向密封组件，所述回转轴（7）为锥形轴，回转轴（7）轴心部分开设有阶梯孔（20），所述阶梯孔（20）为通孔，所述回转轴（7）由锥形气体轴承（9）支承，所述锥形气体轴承（9）安装于回转轴（7）锥形部分外部，锥形气体轴承（9）内部均布有上下对称的节流孔气道（19）。该工作台降低了磨擦损耗，加长了工作台的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN102107393A | 申请公布日期 | 2011.06.29 |
| 申请号 | CN201010553382.2 | 申请日期 | 2010.11.22 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 蒋书运;徐春冬 |
| 分类号 | B24B41/06(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | B24B41/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种带低功耗长寿命轴向气体密封的旋转工作台，其特征在于：其包括回转轴（7）、真空吸盘（2）、锥形气体轴承（9）、设有进气口（8）的壳体（4）、下端盖（6）以及轴向密封装置，所述回转轴（7）为锥形轴，回转轴（7）轴心部分开设有阶梯孔（20），所述阶梯孔（20）为通孔，所述锥形气体轴承（9）安装于回转轴（7）锥形部分，锥形气体轴承（9）内侧均布有上下对称的节流孔气道（19），所述节流孔气道（19）内均装有节流器（3），所述壳体（4）安装于锥形气体轴承（9）外部，壳体（4）上设有压缩空气进气口（8），所述壳体（4）的进气口（8）与锥形气体轴承（9）的节流孔气道（19）相通。 | ||
| 地址 | 210096 江苏省南京市四牌楼2号 | ||