鼓泡搅拌式制绒槽补液装置

摘要

一种鼓泡搅拌式制绒槽补液装置，它包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽，在储液罐的底部设有鼓泡搅拌部件，所述鼓泡搅拌部件由电磁换向阀、总进气管和鼓气支管组成，总进气管与鼓气支管相通连，总进气管通过电磁换向阀与压力氮气源相通连，在鼓气支管上设有出气孔。只要在补液泵向制绒槽补液前3～5分钟打开电磁换向阀，使带压氮气源向总进气管通气，然后便从鼓气支管上的出气孔冒出，由于储液罐中的化学试剂与氮气不反应，用压力氮气来进行鼓泡式搅拌效果理想，能确保补液前使储液罐中的化学试剂搅拌均匀，从而确保补液泵每次补液的浓度相同，提高了制绒工艺的稳定性，确保了硅片的制绒质量。

主权项

一种鼓泡搅拌式制绒槽补液装置，它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6)，补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间，补液泵(3)的吸液口由输液管(2)与储液罐(1)的底部相通连，流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中，其特征是：在储液罐(1)的底部设有鼓泡搅拌部件(7)，所述鼓泡搅拌部件(7)由电磁换向阀(71)、总进气管(72)和鼓气支管(73)组成，总进气管(72)与鼓气支管(73)相通连，总进气管(72)通过电磁换向阀(71)与压力氮气源(8)相通连，在鼓气支管(73)上设有出气孔(74)。