发明名称 一种正性光刻胶剥离液及其制备方法
摘要 本发明公开了一种正性光刻胶剥离液,它是由如下重量百分比的组份组成:脂肪醇聚氧乙烯醚1~5%,环己酮10~15%,其余为单乙醇胺。将上述原料按顺序加入乳化罐,经混合、均质、冷却、排气和过滤后,即可制得。本发明的正性光刻胶剥离液对铝基板无腐蚀,清洗后玻璃表面无残留、无颗粒物质,洁净度好,无毒、无刺激性,易生物降解,易进行废液排放处理。本发明的正性光刻胶剥离液制备方法工艺简单,产率高,只有少量残渣,能耗低,加工操作简便,易于自动化,无环境污染,经济效益高。
申请公布号 CN101251722B 申请公布日期 2011.06.29
申请号 CN200810019857.2 申请日期 2008.03.19
申请人 曹学增 发明人 曹学增
分类号 G03F7/42(2006.01)I 主分类号 G03F7/42(2006.01)I
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人 柏尚春
主权项 一种正性光刻胶剥离液,其特征在于它是由如下重量百分比的组份组成:脂肪醇聚氧乙烯醚1~5%,环己酮10~15%,其余为单乙醇胺。
地址 215500 江苏省常熟市虞山镇翁府前21号