发明名称 Lift pin elevating apparatus
摘要
申请公布号 KR101045247(B1) 申请公布日期 2011.06.29
申请号 KR20080126285 申请日期 2008.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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