镀膜机

摘要

本发明提供一种镀膜机，其包括坩埚、电子枪、坩埚转动装置及承载板。坩埚及电子枪设于承载板上，坩埚用于装载为光学元件镀膜的蒸镀材料，电子枪用于加热坩埚内的蒸镀材料，坩埚转动装置驱动坩埚转动。镀膜机还包括盖板及盖板偏移装置，盖板盖于坩埚上方，且与坩埚之间存在高度差，留有供电子枪射线射入的间隙，盖板偏移装置驱动盖板以遮盖或露出坩埚。本发明提供的镀膜机可以在用电子枪对蒸镀材料进行预融时，利用盖板偏移装置驱动盖板遮盖坩埚，防止蒸镀材料的溅射；当用电子枪对蒸镀材料进行蒸发时，利用盖板偏移装置驱动盖板露出坩埚，进行蒸发镀膜，从而可以在一台设备中实现预融及镀膜，以加快产品的生产流程。

主权项

一种镀膜机，其包括坩埚、电子枪、坩埚转动装置及承载板，所述坩埚及电子枪设于所述承载板上，所述坩埚用于装载为光学元件镀膜的蒸镀材料，所述电子枪用于加热所述坩埚内的蒸镀材料，所述坩埚转动装置驱动所述坩埚转动，其特征在于，所述镀膜机还包括盖板及盖板偏移装置，所述盖板盖于所述坩埚上方，且与所述坩埚之间存在高度差，留有供电子枪射线射入的间隙，所述盖板偏移装置驱动盖板以遮盖或露出所述坩埚。