反应腔室的加热装置及应用该加热装置的等离子体装置

摘要

本发明提供一种反应腔室的加热装置和应用该加热装置的等离子体装置，所述加热装置包括：相隔设置的至少两个转轴，转轴的两端与反应腔室的侧壁转动连接；驱动机构，驱动所述转轴转动；链轮，固定安装于所述转轴的外圆周；链条，与至少两个转轴上的链轮分别啮合并张紧；多个灯管，平行于所述转轴间隔排列，所述灯管通过设置于其两端的灯管引线与灯管电极电性连接；灯管支架，将多个灯管固定于链条的外侧。灯管引线由刚性材料制成，该灯管引线的一端与灯管连接，另一端为自由端，所述自由端设有用来与灯管电极接触连接的电刷。其中的灯管组以运动的方式对载板进行辐射加热，实现了加热灯管照射面的均匀分布，从而有效提高工艺载板的温度均匀性。

主权项

一种反应腔室的加热装置，其特征在于，包括：相隔设置的至少两个转轴，所述转轴的两端与反应腔室的侧壁转动连接；驱动机构，驱动所述转轴转动；链轮，固定安装于所述转轴的外圆周；链条，与至少两个转轴上的链轮分别啮合并张紧；多个灯管，平行于所述转轴间隔排列，所述灯管通过设置于其两端的灯管引线与灯管电极电性连接；灯管支架，将所述多个灯管固定于链条的外侧。