一种晶棒角度测量台

摘要

本发明属于机械加工领域，提供了一种石英晶棒角度的测量装置，用于在晶片加工过程中对利用X射线，确定晶体断面的晶体学取向和参考面取向，具有方便、快速、易操作的特点。本发明包括晶棒挡板（1），晶棒支撑板（3），底部支座（4），晶棒挡板（1）为长度150-155mm、宽度70-75mm、高10-12mm的方板，晶棒挡板（1）在中部开有楔形方空的方板，通过增加了晶棒挡板的长度，从而保证了晶棒在被测量时的稳定性，减小了因晶棒可能产生的摆动而造成的测量误差。

主权项

一种晶棒角度测量台, 包括晶棒挡板（1），晶棒支撑板（3），底部支座（4），其特征在于：所述晶棒挡板（1）为长度150‑155mm、宽度70‑75mm、高10‑12mm的方板，晶棒挡板（1）在中部开有楔形方空的方板；楔形方孔下边离晶棒挡板下底边40mm，方孔长为10 mm、宽为10mm，并且在方孔延平板长度方向开有楔形面；晶棒支撑板（3）的上沿与楔形方孔下边在同一高度。