| 发明名称 |
镀膜装置 |
| 摘要 |
本发明提供一种镀膜装置，其用于对多个基板进行镀膜，该镀膜装置包括一个镀膜腔体及一个抽气系统。该镀膜腔体具有一个竖直方向的中轴。该抽气系统连通至该镀膜腔体顶部的，并位于该中轴上。该多个基板沿平行该中轴的方向放置，且环布在该中轴的周围。如此，所述多个基板所处位置的抽气速率大致相同，处于一个气体浓度相对均匀的环境中，镀膜的均匀性好。 |
| 申请公布号 |
CN102108488A |
申请公布日期 |
2011.06.29 |
| 申请号 |
CN200910312457.5 |
申请日期 |
2009.12.29 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
洪新钦;魏朝沧;张庆州;简士哲;王仲培;凌维成;黄建豪;吴佳颖;廖名扬 |
| 分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种镀膜装置，用于对多个基板进行镀膜，该镀膜装置包括一个镀膜腔体及一个抽气系统，该镀膜腔体具有一个竖直方向的中轴，其特征在于：该抽气系统连通至该镀膜腔体顶部的中央，并位于该中轴上，该多个基板沿平行该中轴的方向放置，且环布在该中轴的周围。 |
| 地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
