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发明名称 Component of quartz for use in semiconductor manufacture and method for producing the same
摘要
申请公布号 KR101044771(B1) 申请公布日期 2011.06.29
申请号 KR20087025927 申请日期 2007.09.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/265 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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