一种扭摆式微型磁敏感器

摘要

本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解调模块。低阻硅片由可动结构和支座构成；可动结构包括扭摆、两根折叠梁、应力释放结构和阻尼孔；可动结构上面加工有上层金属线圈、下层金属线圈、T字型开口和SiNx绝缘层；玻璃基底上包含金属极板、金属极板引线电极和硅引线电极；支座与玻璃基底阳极键合，并使可动结构与玻璃基底脱离，成悬空状态。本发明提供的磁敏感器制作简便、灵敏度高、灵活性强；输出的信号准确、稳定。

主权项

一种扭摆式微型磁敏感器，包括表头芯片和检测控制电路两部分，其特征是，所述表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；所述检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环和二次同步解调模块；所述低阻硅片由可动结构和支座构成；所述低阻硅片的可动结构包括扭摆、两根折叠梁、应力释放结构和阻尼孔，可动结构通过固结在支座上的两根折叠梁扭摆运动；所述可动结构上面加工有上层金属线圈、下层金属线圈、T字型开口和SiNx绝缘层；所述上层金属线圈从可动结构的一端通过一根折叠梁引入扭摆结构表面，在扭摆表面从外向内逐匝盘绕；所述下层金属线圈从内向外逐匝盘绕，并从可动结构的另一端通过另一根折叠梁引出扭摆结构表面，所述上层金属线圈与所述下层金属线圈的盘绕方式相同，同为顺时针方向或者逆时针方向；两层金属线圈被中间留有T字形开口的SiNx绝缘层隔开，并通过中间的T字型开口实现电气连接；同时，两层金属线圈还通过两根折叠梁分别与支座上的金属线圈引线电极相连；所述阻尼孔位于所述扭摆上；所述玻璃基底上包含金属极板、金属极板引线电极和硅引线电极；所述支座与玻璃基底的硅引线电极相连，并使可动结构与玻璃基底脱离，成悬空状态，所述扭摆与玻璃基底具有5um‑20um的间隙。